往复式真空泵-博富来真空泵-无油往复式真空泵

半导体工艺真空主要用在蒸发，溅射，PECVD，真空干法刻蚀， 真空吸附，测试设备，真空清扫等等键合工序，半导体生产制造过程中容易产生以及有毒的物质气体，会对生产及人员安全造成威胁，因此，半导体水环真空泵应用时需要注意的几个安全事项：　　1、定期清洗真空泵及其他附件、过滤、管道，避免超压：

半导体真空泵应用时，抽取介质过程中经过反应室与真空泵，其成分可能极为复杂，无油往复式真空泵，如SiH4与O2在泵口形成SiO2，往复式真空泵厂家，TiCl4水解会形成HCl；假设是油封式机械泵，这些气体物质还可能与泵油发生化反。这些变化假设形成颗粒、可凝物或者腐蚀性介质，就可能堵塞真空泵或管路系统，影响真空泵性能，造成压力上升或超压，往复式真空泵，一点中提到的危险性也更大。所以需要及时的清洗，并在必要的时候设置过滤设备。。

1、水环真空泵励磁回路接通电源对已预整定过的参数，包括磁通（励磁电流）限制值、失磁保护动作整定值、满磁电流整定值和弱磁控制曲线进行校验和 调整；　　2、水环真空泵电势（或电压）调节闭环的开环模拟试验。模拟方式给出电枢端电压和电枢回路电流，对电势（电压）调节器输出限幅值、励磁电流及反馈 回路参数等作出整定；

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2bea水环式真空泵结构及特点:

2BEA系列水环真空泵及压缩机是我公司在长期科研的基础上，2BEA系列水环真空泵，自带气水分离器，设有多位置进排气口，立式往复式真空泵，泵盖上增设了排气阀检修窗盖，装配和维修更加方便。

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